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出版时间：2023-05

出版社：科学出版社

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基本信息 评价
  • 科学出版社
  • 9787030657923
  • 31
  • 2023-05
内容简介
光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光刻技术；最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。
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