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低温等离子体诊断原理与技术 / 等离子物理丛书

￥169.00定价

作者：叶超

出版时间：2023-02

出版社：科学出版社

江苏省高等学校重点教材

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基本信息评价

出版社：科学出版社
ISBN：9787030554758
版次：31
图书编号：374074
装帧：圆脊精装
开本：B5
出版时间：2023-02
页数：352
中图分类编号：O
适用分级：本科

内容简介

本书阐述了低温等离子体诊断的基本原理与重要技术。从等离子体的基本概念与性质、低温等离子体的产生方法和等离子体中的基本化学过程，到低温等离子体的探针诊断技术及其应用、光谱诊断技术及其应用、质谱诊断技术及其应用、离子能量诊断技术及其应用、波干涉诊断技术、等离子体阻抗分析技术及其应用，较全面地介绍了低温等离子体诊断的基础知识，总结了该领域近年来的一些新进展，提供了低温等离子体诊断应用的实例。