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科学出版社
- 9787030398987
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1-7
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65924
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61231109-2
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平装
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大大32开
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2022年8月
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282
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224
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工学
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机械工程
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机械类
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本科
内容简介
本书阐述了真空镀膜的应用，真空镀膜过程中薄膜在基体表面生长过程，探讨了薄膜生长的影响因素，具体地介绍了真空镀膜的各种方法，包括真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀以及化学气相沉积的原理、特点、装置及应用技术等。本书避开烦琐的数学公式，尽量用简单的语言阐述物理过程。通俗易懂、简单易学。
本书可作为相关专业的本科生教材，也可用作研究生教材或相关行业工程技术人员的参考书。
