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微机械谐振器串并联敏感理论

定价：￥228.00

作者：常洪龙等

出版时间：2026-06

出版社：科学出版社

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基本信息评价

出版社：科学出版社
ISBN：9787030778543
版次：1版
开本：B5
出版时间：2026-06

作者简介

国家863计划目标导向项目，支持任意流程的MEMS设计工具与仿真库集成，编号2009AA04Z320，负责人

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内容简介

本书系统总结了作者在微机械谐振器与传感器领域的研究成果。针对微机械传感器在精度提升与长期稳定性方面面临的挑战，本书提出了两项关键理论：一是基于谐振器串联耦合的模态局部化敏感理论，通过多个谐振器串联产生的模态局部化效应实现灵敏度放大；二是基于传感器并联的敏感理论，借助多个传感器并联信号融合以抑制噪声和振动干扰。全书内容涵盖微机械谐振器的基本理论、动力学建模方法、耦合谐振器中的模态局部化机理，以及模态局部化传感器的灵敏度、噪声特性、分辨力、共模噪声抑制特性、输出线性化方法和闭环驱动检测技术等，并结合典型传感器实例，阐述了并联敏感系统的滤波方法与实现途径。