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耐高温压电声表面波传感器关键技术研究

定价：￥108.00

作者：谭秋林，梁晓瑞

出版时间：2026-05

出版社：科学出版社

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基本信息评价

出版社：科学出版社
ISBN：9787030823441
版次：1版
开本：B5
出版时间：2026-05

作者简介

2006.09-2009.09：中北大学精密仪器及机械博士
2003.09-2006.06：中北大学测试计量技术硕士
1999.09-2003.07：华北工学院机械制造及自动化本科2022年12月至今，中北大学仪器与电子学院副院长
2023年02月至今，中北大学微纳器件与系统教育部重点实验室副主任
2020年01月至2020年09月，国家自然科学基金委工材学部（E05）兼聘
2015年06月至2016年06月，美国加州大学伯克利分校访问研习
2014年10月至今，中北大学仪器与电子学院教授/博导
2013年05月至2016年09月，清华大学博士后
2012年07月至2012年08月，香港城市大学访问研习
2011年10月至2014年10月，中北大学副教授/硕导
2009年09月至2011年09月，中北大学讲师作为通讯作者、第一作者发表SCI论文100+篇。
[1] Xu Fangmeng; Xue Tao; Liang Xiaorui; Tan Qiulin*; High-temperature direct bonding of langasite using oxygen plasma activation， Scripta Materialia， 2021， 194（113681）. IF=5.3，一区.
[2] Xue Tao; Xu Fangmeng; Tan Qiulin*; Yan Xiawen; Liang Xiaorui; LGS-based SAW sensor that can measure pressure up to 1000 °C， Sensors and Actuators： A. Physical， 2021， 334（113315）. IF=4.1，三区.
[3] Xiaorui Liang， Lei Zhang， Qiulin Tan*， Wenhua Cheng， Dan Hu， Shuang Li， Lin Jing， Jijun Xiong. Temperature，兼任中国仪器仪表学会机械量测试仪器分会常务理事、中国机械工程学会微纳制造技术分会委员、中国微米纳米技术学会微纳米制造及装备分会理事、中国仪器仪表学会微纳系统分会理事、中国仪器仪表学会集成电路测量与仪器分会理事、IEEE高级会员等，《测试技术学报》、《Journal of Measurement Science and Instrumentation》编委。

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内容简介

本书紧扣航空航天、高端装备制造等领域对极端高温传感技术的迫切需求，阐述了耐高温声表面波（surface acoustic wave，SAW）压电传感器的基础理论、设计方法、制造工艺与测试方法，为解决极端高温环境下力热参数的精准测量难题提供解决思路。
　　本书首先分析声表面波在高温条件下的传播特性与压电材料的应用特性，阐述声表面波器件的工作原理与设计方法，建立温度、振动、应变、压力等参数的传感模型，分析不同物理量作用下器件的响应规律。在此基础上，开展硬脆压电晶片刻蚀、高温热压键合、耐高温电极防护等工艺研究，研制振动、应变及多参数集成传感器。搭建高温无线传感测量与解调系统，并完成器件在高温环境下的性能测试与验证。