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出版时间：2023-02

出版社：科学出版社

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基本信息 评价
  • 科学出版社
  • 9787030693273
  • 31
  • B5
  • 2023-02
内容简介
本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景；其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理，分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析；然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装；最后对传感器的性能进行详细的测试。
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