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出版时间：2010-07

出版社：北京大学出版社

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基本信息 评价
  • 北京大学出版社
  • 9787301173787
  • 2010-07
  • 电气信息
作者简介
张海霞，教授，北京大学微电子研究院。
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内容简介
本书的主要内容是通过深入细致地讲述MEMS设计的基础理论和研究方法，结合几种常用的MEMS器件作为研究实例，让学生了解和掌握MEMS器件和系统，从原理设计、工艺设计、系统设计，到加工测试的整个设计过程，以及其中应该关注的主要问题和这些问题的研究、解决方法。同时，培训目前MEMS研究中常用的软件工具，让学生掌握最先进的辅助研究工具，提高设计效率和质量。
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