半导体传感器原理与应用 / 高等学校电子信息类专业系列教材
￥59.00定价
作者： 李新，魏广芬等
出版时间：2018-09
出版社：清华大学出版社
- 清华大学出版社
- 9787302503040
- 1-1
- 226926
- 47191125-5
- 平装
- 2018-09
- 计算机科学与技术
- TP212
- 计算机
- 本科
内容简介
《半导体传感器原理与应用》系统介绍了气敏、湿敏、热敏、磁敏、力敏、光敏和离子敏等半导体敏感元件与传感器的工作原理、制作工艺、特性参数及其应用举例，并介绍了半导体传感器技术的新发展。全书内容丰富，特色鲜明，各章后配有习题。
《半导体传感器原理与应用》适合用作高等学校电子科学与技术、电子信息科学与技术、微电子学等专业相关课程的教材，也可供从事半导体传感器技术、微电子技术研究的T程人员参考。
《半导体传感器原理与应用》适合用作高等学校电子科学与技术、电子信息科学与技术、微电子学等专业相关课程的教材，也可供从事半导体传感器技术、微电子技术研究的T程人员参考。
目录
章 传感器的基础知识1.1 传感器的基本概念1.2 传感器的一般特性1.2.1 传感器的静态特性1.2.2 传感器的动态特性1.3 传感器的标定1.3.1 传感器的静态标定1.3.2 传感器的动态标定1.4 提高传感器性能的方法 小结 习题第2章 半导体传感器敏感材料及典型工艺2.1 半导体材料2.1.1 硅材料特性2.1.2 主要的硅化合物2.2 电子陶瓷2.2.1 电子陶瓷的特性2.2.2 电子陶瓷的制备工艺2.2.3 电子陶瓷的应用2.3 有机敏感材料2.4 金属敏感材料2.5 常用加工技术2.5.1 光刻工艺2.5.2 腐蚀工艺2.5.3 键合技术2.5.4 微机械加工技术2.5.5 LIGA技术 小结 习题第3章 半导体气敏元件与传感器3.1 金属氧化物的半导体化3.2 表面电阻控制型气敏元件3.2.1 烧结型SnO2气敏元件的结构3.2.2 厚膜型和薄膜型SnO2气敏元件的结构3.2.3 SnO2表面电阻控制型气敏元件的工作原理3.2.4 气敏元件的特性参数3.2.5 SnO2气敏元件的主要特性3.2.6 烧结型SnO2气敏元件的制备T艺3.3 氧化锌（ZnO）表面电阻控制型气敏元件3.4 体电阻控制型气敏元件3.4.1 氧化铁（Fe2O3）系传感器3.4.2 半导体氧敏元件3.5 ZrO2浓差电池型氧传感器3.6 电压控制型气敏传感器3.6.1 肖特基二极管气敏元件3.6.2 气敏开关元件3.6.3 MOS二极管气敏元件3.7 催化金属栅场效应气敏传感器3.7.1 MOSFET的r作原理3.7.2 Pd-MOSFET氢敏元件
