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出版时间:2015-09

出版社:知识产权出版社

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  • 知识产权出版社
  • 9787513038003
  • 185876
  • 2015-09
  • H31
内容简介
  毛样武编著的《材料物理科技英语》为高等院校材料物理专业英语教材,包括:材料科学基础、等离子体、真空技术、薄膜沉积、器件制备工艺、专业文献阅读(科技论文、专利、设备操作说明书)、科技论文写作。
  本书适合作为普通高校材料物理、微电子技术及应用等专业的专业英语教材,也可供微电子和光电行业从业者参考。
目录
Unit 1 Basis of Materials Science
 1.1 Introduction
 1.2 Materials Science and Engineering
 1.3 Classification of Materials
 1.4 Advanced Materials
 1.5 Microstructure characterization of Materials
Unit 2 Plasmas
 2.1 DC Glow Discharge
 2.2 RF Discharges
 2.3 High-Density Plasmas
Unit 3 Vacuum Technology
 3.1 Pressure Ranges and Vacuum Pumps
 3.2 Vacuum Seals and Pressure Measurement
Unit 4 Thin Film Deposition
 4.1 Physical Deposition
 4.2 Chemical Deposition
 4.3 Epitaxial Growth
Unit 5 Devices Fabrication Process
 5.1 Introduction
 5.2 Ion implantation
 5.3 Photolithography
 5.4 Etch
 5.5 Metallization
 5.6 Process Integration
Unit 6 Reading Practice
 6.1 Paper
 6.2 Patent
 6.3 Manual Guide
Unit 7 Writing Practice
 7.1 Structure of Paper
 7.2 Example 1
 7.3 Example 2