半导体制造系统智能调度
￥29.00定价
作者： 吴启迪，李莉等
出版时间：2015-04
出版社：清华大学出版社
- 清华大学出版社
- 9787302391180
- 1-1
- 84469
- 16开
- 2015-04
- 工学
- 电子科学与技术
- TN305
- 计算机
内容简介
本书以半导体制造系统为研究对象，在全面分析其调度特点的基础上，详细解剖、分析半导体制造系统各类调度问题，运用智能化方法设计了相应的求解方案，并通过实例给出了各类调度问题智能化解决方案的实际使用方法。本书在认真总结国内外多年的半导体制造系统智能调度研究成果的基础上，结合作者多年在制造系统智能调度，特别是半导体制造系统智能调度领域的研究与应用成果，对复杂的半导体制造系统智能调度问题从理论到方法再到应用进行了全方位、系统化的论述。 本书可供从事半导体制造系统计划、调度和优化等相关领域研究工作的科研人员，自动控制、工业工程等专业研究生和教师，制造管理及微电子制造行业生产管理或工程技术人员等阅读和参考。
目录
第1章概述
1.1半导体制造过程
1.2半导体生产线运作总体框架
1.2.1物理系统
1.2.2信息系统
1.3半导体生产线调度
1.3.1调度特点
1.3.2调度类型与调度方法
1.3.3评价指标
1.4半导体制造系统调度体系结构
1.4.1组件化可重构半导体生产线调度体系结构
1.4.2半导体生产线调度仿真系统通用结构模型
1.4.3基于数据的动态建模方法
1.4.4组件化半导体生产线调度仿真系统
1.5小结
第2章智能化调度方法
2.1计算智能简介
2.1.1计算智能起源
2.1.2计算智能的分类及特点
2.2遗传算法
2.2.1遗传算法简介
2.2.2遗传算法求解流程
2.2.3基于遗传算法的单机调度问题求解
2.3免疫算法
2.3.1免疫算法简介
2.3.2免疫算法基本流程
2.3.3基于免疫算法的多目标柔性作业车间调度问题求解
2.4分布估计算法
2.4.1分布估计算法简介
2.4.2分布估计算法基本流程
2.4.3基于分布估计算法的流水车间调度
2.5蚁群优化算法
2.5.1蚁群优化算法简介
2.5.2蚁群优化算法模型及基本流程
2.5.3基于蚁群优化算法的作业车间调度问题求解
2.6Memetic算法
2.6.1Memetic算法简介
2.6.2Memetic算法求解流程
2.6.3基于Memetic算法的车间动态调度问题求解
2.7小结
第3章智能化投料控制策略
3.1概述
3.1.1常用投料控制策略
3.1.2改进的投料控制策略
3.2混合智能优化投料控制策略
3.2.1基于混合智能算法的投料控制
3.2.2混合智能算法运行效果及性能分析
3.3基于Memetic算法的投料控制策略
3.3.1Memetic算法及SBOI平台介绍
3.3.2基于SBOI平台的投料控制实例
3.4小结
第4章瓶颈设备智能化调度
4.1约束理论
4.1.1TOC的原理
4.1.2TOC对生产系统的计划与控制步骤
4.1.3TOC在生产计划与管理方面的优势
4.2瓶颈设备识别方法
4.2.1瓶颈设备定义
4.2.2瓶颈设备定量识别算法
4.2.3瓶颈设备辨识算法
4.2.4瓶颈设备管理
4.3基于GA的瓶颈设备调度方法
4.3.1遗传算法的应用
4.3.2基于GA的瓶颈设备调度验证
4.4基于ACO的瓶颈设备调度方法
4.4.1概述
4.4.2MiniFab半导体生产线调度问题
4.4.3基于ACO算法的瓶颈区排程方法
4.5小结
第5章批加工设备智能调度
5.1概述
5.2批加工设备调度描述
5.2.1单台批加工设备调度
5.2.2并行批加工设备调度
5.2.3带有批加工设备的半导体生产线动态调度
5.3基于ACO的批加工设备调度方法
5.3.1概述
5.3.2问题假设
5.3.3基于ACO的半导体生产线批加工区调度方法
5.4基于柔性ACO的批加工设备调度方法
5.4.1柔性蚁群算法
5.4.2需求分析
5.4.3算法设计
5.4.4算法实现
5.5基于ACOICSA的批加工设备调度
5.5.1免疫克隆选择算法
5.5.2基于ACOICSA融合算法的单台批加工设备调度研究
5.6小结
第6章半导体生产线智能化调度方法
6.1概述
6.2基于ACO的单瓶颈半导体生产线调度方法
6.2.1调度模型
6.2.2基于蚁群算法的一体化调度
6.2.3仿真分析
6.3基于MultiACO的多瓶颈半导体生产线调度方法
6.3.1概述
6.3.2MiniFab半导体生产线调度问题
6.3.3基于MultiACO的多瓶颈加工区排程方法
6.4基于ACOICSA的多瓶颈半导体生产线调度方法
6.4.1概述
6.4.2MiniFab半导体生产线调度问题
6.4.3基于ACOICSA的瓶颈区排程方法
6.5小结
附录A专业词语汇总表187附录B模型介绍191B.1HP24模型介绍
B.2MiniFab模型介绍
B.3某6寸生产线简化模型介绍
参考文献
1.1半导体制造过程
1.2半导体生产线运作总体框架
1.2.1物理系统
1.2.2信息系统
1.3半导体生产线调度
1.3.1调度特点
1.3.2调度类型与调度方法
1.3.3评价指标
1.4半导体制造系统调度体系结构
1.4.1组件化可重构半导体生产线调度体系结构
1.4.2半导体生产线调度仿真系统通用结构模型
1.4.3基于数据的动态建模方法
1.4.4组件化半导体生产线调度仿真系统
1.5小结
第2章智能化调度方法
2.1计算智能简介
2.1.1计算智能起源
2.1.2计算智能的分类及特点
2.2遗传算法
2.2.1遗传算法简介
2.2.2遗传算法求解流程
2.2.3基于遗传算法的单机调度问题求解
2.3免疫算法
2.3.1免疫算法简介
2.3.2免疫算法基本流程
2.3.3基于免疫算法的多目标柔性作业车间调度问题求解
2.4分布估计算法
2.4.1分布估计算法简介
2.4.2分布估计算法基本流程
2.4.3基于分布估计算法的流水车间调度
2.5蚁群优化算法
2.5.1蚁群优化算法简介
2.5.2蚁群优化算法模型及基本流程
2.5.3基于蚁群优化算法的作业车间调度问题求解
2.6Memetic算法
2.6.1Memetic算法简介
2.6.2Memetic算法求解流程
2.6.3基于Memetic算法的车间动态调度问题求解
2.7小结
第3章智能化投料控制策略
3.1概述
3.1.1常用投料控制策略
3.1.2改进的投料控制策略
3.2混合智能优化投料控制策略
3.2.1基于混合智能算法的投料控制
3.2.2混合智能算法运行效果及性能分析
3.3基于Memetic算法的投料控制策略
3.3.1Memetic算法及SBOI平台介绍
3.3.2基于SBOI平台的投料控制实例
3.4小结
第4章瓶颈设备智能化调度
4.1约束理论
4.1.1TOC的原理
4.1.2TOC对生产系统的计划与控制步骤
4.1.3TOC在生产计划与管理方面的优势
4.2瓶颈设备识别方法
4.2.1瓶颈设备定义
4.2.2瓶颈设备定量识别算法
4.2.3瓶颈设备辨识算法
4.2.4瓶颈设备管理
4.3基于GA的瓶颈设备调度方法
4.3.1遗传算法的应用
4.3.2基于GA的瓶颈设备调度验证
4.4基于ACO的瓶颈设备调度方法
4.4.1概述
4.4.2MiniFab半导体生产线调度问题
4.4.3基于ACO算法的瓶颈区排程方法
4.5小结
第5章批加工设备智能调度
5.1概述
5.2批加工设备调度描述
5.2.1单台批加工设备调度
5.2.2并行批加工设备调度
5.2.3带有批加工设备的半导体生产线动态调度
5.3基于ACO的批加工设备调度方法
5.3.1概述
5.3.2问题假设
5.3.3基于ACO的半导体生产线批加工区调度方法
5.4基于柔性ACO的批加工设备调度方法
5.4.1柔性蚁群算法
5.4.2需求分析
5.4.3算法设计
5.4.4算法实现
5.5基于ACOICSA的批加工设备调度
5.5.1免疫克隆选择算法
5.5.2基于ACOICSA融合算法的单台批加工设备调度研究
5.6小结
第6章半导体生产线智能化调度方法
6.1概述
6.2基于ACO的单瓶颈半导体生产线调度方法
6.2.1调度模型
6.2.2基于蚁群算法的一体化调度
6.2.3仿真分析
6.3基于MultiACO的多瓶颈半导体生产线调度方法
6.3.1概述
6.3.2MiniFab半导体生产线调度问题
6.3.3基于MultiACO的多瓶颈加工区排程方法
6.4基于ACOICSA的多瓶颈半导体生产线调度方法
6.4.1概述
6.4.2MiniFab半导体生产线调度问题
6.4.3基于ACOICSA的瓶颈区排程方法
6.5小结
附录A专业词语汇总表187附录B模型介绍191B.1HP24模型介绍
B.2MiniFab模型介绍
B.3某6寸生产线简化模型介绍
参考文献
