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金属有机化合物气相外延基础及应用 / 半导体科学与技术丛书

定价：￥128.00

作者：陆大成

出版时间：2026-01

出版社：科学出版社

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基本信息评价

出版社：科学出版社
ISBN：9787030238450
版次：31
出版时间：2026-01

内容简介

本书是国内第一本全面系统地介绍金属有机化合物气相外延（MOVPE）的专著。本书共10章：第1章概述；第2章生长系统；第3章原材料；第4章MOVPE生长热力学和反应动力学；第5章MOVPE反应室内的输运现象与模型化；第6章MOVPE中的表面过程；第7章III-V族化合物半导体的MOVPE生长；第8章II-VI族半导体的MOVPE生长；第9章低维结构的MOVPE生长；第10章 MOVPE技术在器件方面的应用。其特点是从理论和实践两个方面加以论述。反映国内外最新进展，包括本书作者在内的我国科学工作者的研究成果。