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出版时间：2023-07

出版社：科学出版社

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基本信息 评价
  • 科学出版社
  • 9787030724892
  • 31
  • 432119
  • 平装胶订
  • 2023-07
内容简介
本书主要介绍了碳化硅(SiC)传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分，共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性；第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程，总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的**进展；第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。
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