半导体厂务项目工程管理 / 先进半导体产教融合丛书
定价：￥78.00
作者： 沈晓宇，王栋，戴丽华
出版时间：2026-01-05
出版社：机械工业出版社
- 机械工业出版社
- 9787111796831
- 1-1
- 2026-01-05
- 354
内容简介
《半导体厂务项目工程管理》旨在系统介绍半导体厂务项目工程管理的理论与实践，为集成电路生产领域的从业者、高校相关专业师生提供一套全面、实用的知识体系，并能深入理解半导体厂务项目工程管理的核心要素，掌握关键系统的设计、运行与维护技能，为半导体制造工厂的高效、稳定运行贡献力量。
全书共7 个单元，具体内容为半导体厂务项目工程管理概述、高低压电力系统和FMCS 的设计与运行维护、动力系统的设计与运行维护、排气系统的设计与运行维护、洁净室系统的设计与运行维护、气化系统的设计与运行维护、纯废水系统的设计与运行维护。
本书注重理论与实践相结合，既涵盖了半导体厂务项目工程管理的理论知识，又提供了丰富的实际案例和操作指南，可作为集成电路生产领域的厂务工程师、运维工程师的学习参考用书，也可作为高职高专和应用型本科相关专业参考教材。
全书共7 个单元，具体内容为半导体厂务项目工程管理概述、高低压电力系统和FMCS 的设计与运行维护、动力系统的设计与运行维护、排气系统的设计与运行维护、洁净室系统的设计与运行维护、气化系统的设计与运行维护、纯废水系统的设计与运行维护。
本书注重理论与实践相结合，既涵盖了半导体厂务项目工程管理的理论知识，又提供了丰富的实际案例和操作指南，可作为集成电路生产领域的厂务工程师、运维工程师的学习参考用书，也可作为高职高专和应用型本科相关专业参考教材。
目录
目录
前言
第1单元半导体厂务项目工程管理概述
项目1半导体厂务项目工程管理介绍
任务1.1半导体厂务系统概述
习题
第2单元高低压电力系统和FMCS的设计与运行维护
项目2高低压电力系统的组成
任务2.1高压开关柜
任务2.2紧急供电的作用与选择
任务2.3电力设备的维护
任务2.4厂务接地系统
项目3FMCS
任务3.1FMCS网络架构
任务3.2FMCS仪器选型
任务3.3FMCS子系统逻辑控制
习题
第3单元动力系统的设计与运行维护
项目4动力系统
任务4.1PCW系统
任务4.2工艺真空系统
任务4.3清扫真空系统
任务4.4冷热源系统
习题
第4单元排气系统的设计与运行维护
项目5排气系统
任务5.1一般废气处理系统
任务5.2有机废气处理系统
任务5.3酸碱性废气处理系统
任务5.4毒性废气处理系统
习题
第5单元洁净室系统的设计与运行维护
项目6洁净室系统
任务6.1洁净室系统介绍
任务6.2净化风系统
任务6.3洁净室环境检测
习题
第6单元气化系统的设计与运行维护
项目7气体系统
任务7.1大宗气体
任务7.2特种气体
任务7.3气柜操作及故障排查
任务7.4GMS
任务7.5气体系统应急处理流程
任务7.6气体个人防护装备
项目8化学品系统
任务8.1化学品种类
任务8.2化学品供应方式
任务8.3化学品应急处理流程
任务8.4化学品系统材质的选用
任务8.5化学品设备操作及故障排查
任务8.6化学品个人防护装备
习题
第7单元纯废水系统的设计与运行维护
项目9纯水系统
任务9.1纯水系统的介绍
任务9.2超纯水系统的运行维护
项目10废水系统
任务10.1废水的种类
任务10.2废水处理系统
习题
前言
第1单元半导体厂务项目工程管理概述
项目1半导体厂务项目工程管理介绍
任务1.1半导体厂务系统概述
习题
第2单元高低压电力系统和FMCS的设计与运行维护
项目2高低压电力系统的组成
任务2.1高压开关柜
任务2.2紧急供电的作用与选择
任务2.3电力设备的维护
任务2.4厂务接地系统
项目3FMCS
任务3.1FMCS网络架构
任务3.2FMCS仪器选型
任务3.3FMCS子系统逻辑控制
习题
第3单元动力系统的设计与运行维护
项目4动力系统
任务4.1PCW系统
任务4.2工艺真空系统
任务4.3清扫真空系统
任务4.4冷热源系统
习题
第4单元排气系统的设计与运行维护
项目5排气系统
任务5.1一般废气处理系统
任务5.2有机废气处理系统
任务5.3酸碱性废气处理系统
任务5.4毒性废气处理系统
习题
第5单元洁净室系统的设计与运行维护
项目6洁净室系统
任务6.1洁净室系统介绍
任务6.2净化风系统
任务6.3洁净室环境检测
习题
第6单元气化系统的设计与运行维护
项目7气体系统
任务7.1大宗气体
任务7.2特种气体
任务7.3气柜操作及故障排查
任务7.4GMS
任务7.5气体系统应急处理流程
任务7.6气体个人防护装备
项目8化学品系统
任务8.1化学品种类
任务8.2化学品供应方式
任务8.3化学品应急处理流程
任务8.4化学品系统材质的选用
任务8.5化学品设备操作及故障排查
任务8.6化学品个人防护装备
习题
第7单元纯废水系统的设计与运行维护
项目9纯水系统
任务9.1纯水系统的介绍
任务9.2超纯水系统的运行维护
项目10废水系统
任务10.1废水的种类
任务10.2废水处理系统
习题
