目 录
第1 章 微电子器件实验 ........................................................................................................... 1
实验一 四探针法测量半导体（金属材料）电阻率 ........................................................ 1
实验二 PN 结变温特性研究.............................................................................................. 4
实验三 BJT/MOS 器件静态特性分析 .............................................................................. 6
实验四 功率MOSFET 器件CV 特性分析 ...................................................................... 9
实验五 晶体管特征频率实验 .......................................................................................... 15
实验六 MOSFET 器件动态开关特性分析 ..................................................................... 19
第2 章 模拟集成电路设计实验 ............................................................................................. 23
实验一 EDA 仿真软件Hspice 及CMOS 工艺技术参数提取 ...................................... 23
实验二 CMOS 差分放大器设计 ..................................................................................... 31
实验三 两级运算放大器设计 .......................................................................................... 37
第3 章 数字集成电路设计实验 ............................................................................................. 42
实验一 数据选择器设计 .................................................................................................. 42
实验二 译码器设计 .......................................................................................................... 44
实验三 4 位全加器设计 ................................................................................................... 48
实验四 同步计数器 .......................................................................................................... 51
实验五 数控分频器的设计 .............................................................................................. 53
实验六 音乐播放器的设计 .............................................................................................. 55
第4 章 集成电路版图设计实验 ............................................................................................. 58
实验一 Cadence 软件使用入门 ....................................................................................... 58
实验二 MOS 场效应晶体管的版图 ................................................................................ 69
实验三 CMOS 反相器的版图 ......................................................................................... 75
实验四 D 触发器的版图 .................................................................................................. 78
实验五 反相器的版图验证 .............................................................................................. 82
第5 章 集成电路制造工艺实验 ............................................................................................. 92
实验一 晶体生长、晶圆片制造实验 .............................................................................. 92
实验二 氧化实验............................................................................................................ 103
iv
集成电路设计实验教程
实验三 扩散实验............................................................................................................ 107
实验四 离子注入实验 ..................................................................................................... 111
实验五 薄膜淀积实验 ..................................................................................................... 115
实验六 光刻实验............................................................................................................ 123
第6 章 集成电路封装工艺实验 ........................................................................................... 134
实验一 背面减薄虚拟仿真实训体验式互动实验 ........................................................ 134
实验二 晶圆切割虚拟仿真实训体验式互动实验 ........................................................ 141
实验三 第二道光检虚拟仿真实训体验式互动实验 .................................................... 145
实验四 芯片粘接虚拟仿真实训体验式互动实验 ........................................................ 148
实验五 注塑虚拟仿真实训体验式互动实验 ................................................................ 151
实验六 高温固化虚拟仿真实训体验式互动实验 ........................................................ 155
实验七 去溢料电镀虚拟仿真实训体验式互动实验 .................................................... 159
实验八 电镀退火虚拟仿真实训体验式互动实验 ........................................................ 162
第7 章 集成电路综合设计实验——二级密勒补偿运算放大器设计实验 ........................ 166
附录 ........................................................................................................................................... 194
附录A 2450 型数字源表使用说明 ............................................................................... 194
附录B QuartusII VHDL 文本输入设计方法 ................................................................ 197
参考文献 ................................................................................................................................... 202